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提供一种干膜抗蚀剂用聚酯薄膜，其不仅能够实现高平坦性及透明性、薄膜的滑动性良好、薄膜的宽度方向的厚度不均少、能够卷取为卷状，而且此时能够使空气不会封在薄膜间，作为这样新的DFR用聚酯薄膜，其特征在于，是在特性粘度为0.65dl/g以上的基材...
该专利属于三菱化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱化学株式会社授权不得商用。

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