温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的一个实施方式涉及的溅射靶材具有由金属材料构成的板状的靶材主体。所述靶材主体具有靶材部和基座部。所述靶材部包含溅射面。所述基座部包含位于所述溅射面的相反侧且硬度比所述溅射面高的冷却面、以及拉伸强度从所述冷却面向所述靶材部逐渐降低的梯度...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。