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本发明提供一种探针板以及使用探针板的半导体晶片的检查装置。可靠地处理来自与探针板相离的半导体晶片的接收信号。探针板（１１）包括第１导电性端子（１４）和发送接收电路（１６）。半导体晶片（２）具有第２导电性端子（２１）。第１导电性端子和第２导电...该专利属于国立大学法人东京大学;夏普株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过国立大学法人东京大学;夏普株式会社授权不得商用。
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本发明提供一种探针板以及使用探针板的半导体晶片的检查装置。可靠地处理来自与探针板相离的半导体晶片的接收信号。探针板（１１）包括第１导电性端子（１４）和发送接收电路（１６）。半导体晶片（２）具有第２导电性端子（２１）。第１导电性端子和第２导电...