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本发明提供一种无需对脉冲波形进行高速采样即可降低脉冲波形的偏差的脉冲激光振荡器。在腔室内填充有包含二氧化碳及氦的激光气体。一对放电电极彼此隔着间隔配置，且其在腔室内产生放电。在上述脉冲激光振荡器中，设定激光气体的压力、激光气体中的氦气的浓度...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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