脉冲激光振荡器及脉冲激光输出方法技术

本发明专利技术提供一种无需对脉冲波形进行高速采样即可降低脉冲波形的偏差的脉冲激光振荡器。在腔室内填充有包含二氧化碳及氦的激光气体。一对放电电极彼此隔着间隔配置，且其在腔室内产生放电。在上述脉冲激光振荡器中，设定激光气体的压力、激光气体中的氦气的浓度及一对放电电极的间隔，以便满足激光输出为370W以上的第1条件、所输出的各个激光脉冲波形的除了尾部以外的部分的面积相对于激光脉冲波形的面积的比例为90％以上的第2条件及标准偏差相对于多个激光脉冲的脉冲能量的平均值的比例为3％以下的第3条件。

【技术实现步骤摘要】
脉冲激光振荡器及脉冲激光输出方法本申请主张基于2019年5月21日申请的日本专利申请第2019-095203号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考而援用于本说明书中。
本专利技术涉及一种脉冲激光振荡器及脉冲激光输出方法。
技术介绍
在利用从二氧化碳(CO2)气体激光振荡器输出的脉冲激光束进行钻孔加工时，为了降低孔形状等加工品质的偏差，要求降低每个脉冲的能量(以下，称为脉冲能量)的偏差。并且，从二氧化碳气体激光振荡器输出的激光脉冲波形通常具有从停止放电电力的供给的时刻开始下降然后随着时间的经过而缓慢下降的尾部。在下述专利文献1中公开了一种使脉冲能量的偏差降低的激光振荡方法。在专利文献1中公开的方法中，在一次脉冲激励中，多次测定从激光振荡器输出的激光的能量值，并根据测定结果来控制激励时间。由此，能够使脉冲能量稳定。专利文献1：日本特开2002-299736号公报在专利文献1中公开的激光振荡方法中，需要在一个激光脉冲的输出中对脉冲波形进行时间积分。因此，必须设置高速采样脉冲波形并且几乎实时对采样结果进行累计的电路。并本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种脉冲激光振荡器，其具备一对放电电极，所述一对放电电极彼此隔着间隔配置，且其在填充有包含二氧化碳及氦的激光气体的腔室内产生放电，所述脉冲激光振荡器的特征在于，/n设定所述激光气体的压力、所述激光气体中的氦气的浓度及所述一对放电电极的间隔，以便满足激光输出为370W以上的第1条件、所输出的各个激光脉冲波形的除了尾部以外的部分的面积相对于激光脉冲波形的面积的比例为90％以上的第2条件及标准偏差相对于多个激光脉冲的脉冲能量的平均值的比例为3％以下的第3条件。/n

【技术特征摘要】
20190521 JP 2019-0952031.一种脉冲激光振荡器，其具备一对放电电极，所述一对放电电极彼此隔着间隔配置，且其在填充有包含二氧化碳及氦的激光气体的腔室内产生放电，所述脉冲激光振荡器的特征在于，
设定所述激光气体的压力、所述激光气体中的氦气的浓度及所述一对放电电极的间隔，以便满足激光输出为370W以上的第1条件、所输出的各个激光脉冲波形的除了尾部以外的部分的面积相对于激光脉冲波形的面积的比例为90％以上的第2条件及标准偏差相对于多个激光脉冲的脉冲能量的平均值的比例为3％以下的第3条件。


2.根据权利要求1所述的脉冲激光振荡器，其特征在于，
在将所述激光气体的压力标记为x(torr)且将所述激光气体中的氦气的体积浓度标记为y(％)的情况下，所述激光气体的压力x及氦气的体积浓度y满足0.042x+58.6≤y≤0.132x+28.6。
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【专利技术属性】
技术研发人员：河村让一，田中研太，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP