下载图案化磊晶基板及半导体结构的技术资料

文档序号:26481148

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本发明提供一种图案化磊晶基板及半导体结构。图案化磊晶基板包括基材以及多个立体图案。基材具有第一区与环绕第一区的第二区。第一区与第二区以共中心方式配置。立体图案与基材一体成型且排列于基材上。立体图案包括多个第一立体图案以及多个第二立体图案。第...
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