下载基于Fe掺杂的GaN基横向结构发光二极管及制作方法的技术资料

文档序号:26481147

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本发明公开了一种基于Fe掺杂的GaN基横向结构发光二极管及其制备方法,主要解决现有GaN基横向结构发光二极管工作时电流集边的问题。其自下而上包括:衬底(1),低温GaN成核层(2),n型GaN层(3),In...
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