下载一种修复PERC电池激光开膜损伤的方法的技术资料

文档序号:26481140

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本发明提供一种修复PERC电池激光开膜损伤的方法,包括对P型单晶硅片的正面和反面进行制绒且在正面和/或反面进行磷扩散形成磷掺杂面;使用激光器对P型单晶硅片的正面进行局域掺杂制作选择性发射极;经过背面刻蚀、热氧化、在背面沉积氧化铝与氮化硅叠层...
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