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一种修复PERC电池激光开膜损伤的方法技术
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文档序号:26481140
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本发明提供一种修复PERC电池激光开膜损伤的方法,包括对P型单晶硅片的正面和反面进行制绒且在正面和/或反面进行磷扩散形成磷掺杂面;使用激光器对P型单晶硅片的正面进行局域掺杂制作选择性发射极;经过背面刻蚀、热氧化、在背面沉积氧化铝与氮化硅叠层...
该专利属于苏州腾晖光伏技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州腾晖光伏技术有限公司授权不得商用。
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