下载一种钝化接触电池的制备方法的技术资料

文档序号:26481137

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本发明公开了一种钝化接触电池的制备方法,包括如下步骤:1)选取硅片;2)制绒;3)制正面发射极;4)去除表面氧化物;5)制超薄氧化层;6)局部沉积重掺杂非晶硅;7)非晶硅退火;8)背面刻蚀和抛光;9)制背面掺杂层;10)去除表面氧化物;11...
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