下载一种抗辐照双栅LDMOS器件结构的技术资料

文档序号:26481101

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本发明提供一种抗辐照双栅LDMOS器件结构,包括P型衬底、P阱、N型漂移区;源区P+注入、右侧源区N+注入、N+注入、薄栅氧化层、NMOS多晶硅、LDMOS厚栅氧化层、LDMOS多晶硅、LDMOS场氧化层、漏极N+注入,本发明和传统的BCD...
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