下载电容器的阵列、用于形成集成电路的方法,以及用于形成电容器的阵列的方法的技术资料

文档序号:26481051

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本申请涉及电容器的阵列、用于形成集成电路的方法,以及用于形成电容器的阵列的方法。一种用于形成集成电路的方法包括形成竖向穿过包括第一材料和第二材料的堆叠的结构的阵列。所述结构相对于所述第一材料的最外部分竖直地投影。能量被引导到所述结构的竖直地...
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