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抽头单元和半导体单元制造技术
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文档序号:26481013
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提供了一种抽头单元和半导体单元。所述抽头单元可以包括:掩埋电力轨层,包括VDD供电轨和VSS供电轨;多个过孔层和多个互连层,交替地布置在掩埋电力轨层上;VDD供电金属互连件和VSS供电金属互连件,位于所述多个互连层中的供电互连层中;VDD供...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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