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本发明公开了一种基于Dotnet上位机与下位机的设备控制方法和系统，其中，控制方法包括：按照预设规则制作参数模板文件，其中，参数模板文件采用excel格式；Dotnet上位机的数据监控软件读取参数模板文件，并生成excel文件和控制命令；根...
该专利属于徐州晶睿半导体装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州晶睿半导体装备科技有限公司授权不得商用。

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