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本发明公开了一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置,包括光刻机本体,所述光刻机本体的下端固定连接有多个行走机构,所述光刻机本体的下方设有多个支撑机构,所述光刻机本体侧壁上固定连接有斜杆,所述斜杆的上端固定连接有物料传送装置。本发明结构设计合理...该专利属于江苏九迪激光装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏九迪激光装备科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置,包括光刻机本体,所述光刻机本体的下端固定连接有多个行走机构,所述光刻机本体的下方设有多个支撑机构,所述光刻机本体侧壁上固定连接有斜杆,所述斜杆的上端固定连接有物料传送装置。本发明结构设计合理...