下载一种光刻胶及其光刻工艺的技术资料

文档序号:26477839

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本发明提供一种光刻胶,包括含酚树脂、溶剂和感光剂,其中溶剂为丙二醇甲醚醋酸脂与碳酸丙烯脂的混合溶剂。本发明还提供一种光刻胶的光刻工艺,包括:在基片衬底上喷涂本发明的光刻胶;将喷涂完光刻胶的基底进行真空干燥、烘烤、曝光和显影。本发明的光刻胶可...
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