下载一种微位移促动器的技术资料

文档序号:26477725

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本发明公开了一种微位移促动器,包括导向机构、精调机构和重力卸载装置,包括:输出轴、壳体、直线轴承和导向碟片,输出轴的两端各固定一片导向碟片,直线轴承包括轴承座和导向杆,轴承座固定在壳体的上端面,导向杆与轴承座滑动连接,导向杆的两端分别与两片...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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