下载光波导制备方法的技术资料

文档序号:26477700

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本发明公开一种光波导制备方法,其中,所述光波导制备方法包括以下步骤:提供一衬底;于所述衬底上涂覆纳米压印胶,对所述纳米压印胶进行纳米压印,以形成光栅图形;于所述光栅图形背向所述衬底的表面制作光栅层,所述光栅层为无机材料制成;保留所述光栅图形...
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