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一种用于混合集成电路寿命预计试验的测试芯片及应用制造技术
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文档序号:26477384
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本发明公开了一种用于混合集成电路寿命预计试验的测试芯片及应用,包括基底,所述基底的中心区域设置有用于模拟芯片发热的加热PN结,且所述加热PN结还用于监测芯片温度;所述基底上还沿基底周向设置有若干组菊花链单元,每组所述菊花链单元包括两个电连接...
该专利属于西安微电子技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安微电子技术研究所授权不得商用。
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