下载采用文氏桥振荡电路测量液体电导率的频率检测器的技术资料

文档序号:2647723

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本发明涉及一种采用文氏桥振荡电路测量液体电导率的频率检测器,由MEMS器件和电路共同构成,所述MEMS器件是利用硅微加工技术制作的两个等值的电容器,电容器的介质是被检测液体,所述MEMS器件被固定在PCB板上与电路相连,构成一个文氏桥振荡电...
该专利属于重庆大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆大学授权不得商用。

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