采用文氏桥振荡电路测量液体电导率的频率检测器制造技术

本发明专利技术涉及一种采用文氏桥振荡电路测量液体电导率的频率检测器，由ＭＥＭＳ器件和电路共同构成，所述ＭＥＭＳ器件是利用硅微加工技术制作的两个等值的电容器，电容器的介质是被检测液体，所述ＭＥＭＳ器件被固定在ＰＣＢ板上与电路相连，构成一个文氏桥振荡电路及信号采集的后处理电路。检测时，被检测液体被注入频率检测器件或者频率检测器件放入被检测液体中，由于对应不同电导率的液体，频率检测器的电容值不同，文氏桥振荡电路的振荡频率不同，因此可以通过检测文氏桥振荡电路的振荡频率测量液体的电导率。这种检测器具有灵敏度高，抗干扰能力强，检测方便等优点，而且利用ＭＥＭＳ技术制作的微型器件，易于检测仪器的微型化，也方便与其它传感器集成构成多参数的微型检测仪器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种测量水等液体电导率的频率检测器。
技术介绍
电导率是物体传导电流的能力，金属导电是靠金属晶体之间的自由电子在外加电场的作用下定向运动实现的，而水的电导则是靠分布在水中的正、负离子在外加电场的作用下分别定向运动完成。水的电导即水的电阻的倒数，与其所含无机酸、碱、盐的量有一定关系，常用于表示水的纯净度，推测水中离子的总浓度或含盐量，是衡量水质和测量溶液浓度的一项重要标志，是很重要的化学量。目前，最常用的电导检测采用的原理是两电极法或四电极法。以两电极法为例，两电极平行排列，且保持一定的间距，放到被测溶液中，当电极上施加高频交流电压时，检测电极输出高频电流，通过电压和电流计算溶液的电导。无论是两电极还是四电极电导检测，电导都是通过电流电压的测量得到，这一测量原理在当今直接显示测量仪表中得到广泛应用。这种方法对低电导的高纯水检测有明显缺陷。一方面由于检测信号极微小很容易被噪声淹没，而使检测失败；另一方面随着激励电源频率的提高，也会增大检测误差。
技术实现思路
针对电流检测存在的不足，本专利技术提出一种采用文氏桥振荡电路测量液体导电率的频率检测器，通过测量与被检测液体相关的文氏本文档来自技高网...

【技术保护点】
采用文氏桥振荡电路测量液体电导率的频率检测器，它是由ＭＥＭＳ器件和电路共同构成，其特征在于：所述ＭＥＭＳ器件是利用硅微加工技术制作的两个等值的电容器，电容器的介质是被检测液体，所述ＭＥＭＳ器件被固定在ＰＣＢ板上与电路相连，构成一个文氏桥振荡电路及信号采集的后处理电路。

【技术特征摘要】
1、采用文氏桥振荡电路测量液体电导率的频率检测器，它是由MEMS器件和电路共同构成，其特征在于：所述MEMS器件是利用硅微加工技术制作的两个等值的电容器，电容器的介质是被检测液体，所述MEMS器件被固定在PCB板上与电路相连，构成一个文氏桥振荡电路及信号采集的后处理电路。2、根据权利要求1所述的采用文氏桥振荡电路测量液体电导率的频率检测器，其特征在于：所述MEMS器件是以硅衬底为上下极板，在上下极板上分别制作有上、下两对电极；上极板两个电极的引线焊盘(5)在电极的背面引出；下极板两个电极的引线焊盘(5)则在电极的一侧引出，上下极板键合时下极板的引线焊...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，温志渝，易继坤，
申请(专利权)人：重庆大学，
类型：发明
国别省市：85[中国|重庆]