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一种基于热对流原理的柔性加速度传感器制造技术
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下载一种基于热对流原理的柔性加速度传感器的技术资料
文档序号:26477204
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本发明公开了一种柔性的基于热对流原理的加速度传感器,包括由聚二甲基硅氧烷材料制备的带有空腔的顶盖;含有气体包括空气、惰性气体等,亦或是液体包括水、油填充物的腔体;安置于密封腔体中部位置的加热元件;若干安置于密封腔体内并围绕加热元件对称的感温...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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