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一种用于杜瓦芯片疲劳试验的快速降温、升温系统和方法技术方案
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下载一种用于杜瓦芯片疲劳试验的快速降温、升温系统和方法的技术资料
文档序号:26476501
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本发明公开了一种用于杜瓦芯片疲劳试验的快速降温、升温系统,包括输气管路、高压管路、低压管路、进气管路和被测杜瓦;所述输气管路的一端连通高压氮气气源,输气管路的另一端通过三通分别连通有高压管路和低压管路,高压管路和低压管路的末端通过三通连通有...
该专利属于凯迈(洛阳)气源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过凯迈(洛阳)气源有限公司授权不得商用。
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