下载一种用于杜瓦芯片疲劳试验的快速降温、升温系统和方法的技术资料

文档序号:26476501

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本发明公开了一种用于杜瓦芯片疲劳试验的快速降温、升温系统,包括输气管路、高压管路、低压管路、进气管路和被测杜瓦;所述输气管路的一端连通高压氮气气源,输气管路的另一端通过三通分别连通有高压管路和低压管路,高压管路和低压管路的末端通过三通连通有...
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