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本发明公开了一种物理气相沉积设备中陶瓷真空连接器气密性的检测方法。其特征在于，包括以下步骤：S1.将陶瓷真空连接器连接器连接真空接口并固定好位置；S2.连接真空接口抽取真空使其达到测试状态；S3.利用示踪气体检测并标记泄漏位置。该方法可以有...
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