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本发明所提供的超高精度显微打磨深度标尺可用于测量显微样品的打磨深度，用于加工双面平行度超高的薄板。超高精度显微打磨深度标尺的测量精度可达到纳米级。显微打磨深度标尺的结构主要包括三个部分：标尺板；上挡板；下挡板。标尺板的∠θ为斜面和标尺底面的...
该专利属于唐林所有，仅供学习研究参考，未经过唐林授权不得商用。

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