温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的目的在于提供一种能够抑制阀芯进行动作时产生的振动的真空开闭阀。本发明的真空开闭阀(30)配设在真空腔室(11)与真空泵(15)之间，通过提升阀芯(33A)的开闭动作来进行真空腔室的排气，具备真空压力控制装置(70)和伺服阀(60)，...
该专利属于CKD株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过CKD株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。