下载生产碳化硅单晶用热辐射反射装置及其制备方法与应用的技术资料

文档序号:26473527

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本申请公开了一种生产碳化硅单晶用热辐射反射装置及其制备方法与应用。所述装置能够形成热辐射反射镜面,所述热辐射反射镜面能够围绕于PVT法生产碳化硅单晶用长晶坩埚的外周,且能够将所述坩埚处散发出来的热量反射回所述坩埚处。本发明通过试验证明,在P...
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