下载一种制备半导体材料的金属有机源喷雾装置及其工艺的技术资料

文档序号:26473476

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种制备半导体材料的金属有机源喷雾装置,包括壳体,所述壳体上开设有反应室,所述反应室内固定设置有固定块,所述固定块呈L型设置,所述固定块的横板紧贴反应室的一侧侧壁设置,且所述固定块的纵板上设有与之对应的固定机构,所述固定块的横板...
该专利属于王丽所有,仅供学习研究参考,未经过王丽授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。