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本阀门涉及一种专用于生产磁性传感器芯片的磁控溅射设备，该溅射设备包括晶圆传递室，在晶圆传递室设置晶圆传递机械手，在晶圆传递室的出口端连接若干溅射室且溅射室之间彼此独立，在晶圆传递室进口端连接进样室，进样室进口端连接SMIF装置，本阀门通过增...
该专利属于贵州雅光电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过贵州雅光电子科技股份有限公司授权不得商用。

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