下载温度调节方法及装置、蒸镀设备的技术资料

文档序号:26473466

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本公开提供一种温度调节装置,包括控制器、至少一个温度调节板;所述控制器用于根据蒸发源已蒸镀的膜层的厚度、和/或厚度均一性确定提供给所述温度调节板的控制电压;所述温度调节板包括朝向所述蒸发源设置的反射面,所述反射面的反射率能够随所述控制电压的...
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