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本发明提供一种双面研磨装置用载具及其制造方法，其能够提高插入部件相对于上下方向的结合强度并防止偏移、脱落，并且抑制了在形成插入部件时插入部件相对于载具主体的偏移。一种双面研磨装置用载具，其在对半导体晶圆进行双面研磨的双面研磨装置中配设于分别...
该专利属于信越半导体株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越半导体株式会社授权不得商用。

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