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本发明公开了一种超临界流体清洗方法及其装置，该清洗方法包括：向清洗室内持续通入超临界流体；交替改变清洗室内的压力或工件的温度，以使污染物脱离工件表面；将脱离工件的污染物随超临界流体排出，完成工件清洗。清洗装置包括：一流体储罐，以提供流体源，...
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