下载一种XY轴纳米调整平台的技术资料

文档序号:26465035

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本实用新型公开一种XY轴纳米调整平台;包括上板、中间板和底板,上板和中间板之间隐藏设有X轴直线电机传动机构,中间板和底板之间隐藏设有Y轴直线电机传动机构,上板和中间板之间的两侧分别通过X轴交叉滚柱导轨连接,中间板和底板之间的两侧分别通过Y轴...
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