【技术实现步骤摘要】
一种XY轴纳米调整平台
本技术涉及调整平台,特别涉及一种XY轴纳米调整平台。
技术介绍
现有的双轴直线电机,也即是在X轴平台上安装一个Y轴平台,形成双轴直线运动平台,从而实现双轴直线运动,但是,在运动的过程中由于动子总会有一供电线缆,致使在微小型平台中走线困难;而且平台结构复杂、体积较大。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的上述缺陷,提供一种XY轴纳米调整平台。运用电磁原理提供动力,拥有超小的尺寸和纳米级别的精度,解决了线缆拖拽问题。为解决现有技术的上述缺陷,本技术提供的技术方案是:一种XY轴纳米调整平台,包括上板、中间板和底板,所述上板和所述中间板之间隐藏设有X轴直线电机传动机构,所述中间板和所述底板之间隐藏设有Y轴直线电机传动机构,所述上板和所述中间板之间的两侧分别通过X轴交叉滚柱导轨连接,所述中间板和所述底板之间的两侧分别通过Y轴交叉滚柱导轨连接。作为本技术XY轴纳米调整平台的一种改进,所述X轴直线电机传动机构包括固定在所述中间板上的X轴直线电机动子、和固定在所述上板的X轴磁铁, ...
【技术保护点】
1.一种XY轴纳米调整平台,其特征在于,包括上板、中间板和底板,所述上板和所述中间板之间隐藏设有X轴直线电机传动机构,所述中间板和所述底板之间隐藏设有Y轴直线电机传动机构,所述上板和所述中间板之间的两侧分别通过X轴交叉滚柱导轨连接,所述中间板和所述底板之间的两侧分别通过Y轴交叉滚柱导轨连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种XY轴纳米调整平台,其特征在于,包括上板、中间板和底板,所述上板和所述中间板之间隐藏设有X轴直线电机传动机构,所述中间板和所述底板之间隐藏设有Y轴直线电机传动机构,所述上板和所述中间板之间的两侧分别通过X轴交叉滚柱导轨连接,所述中间板和所述底板之间的两侧分别通过Y轴交叉滚柱导轨连接。
2.根据权利要求1所述的XY轴纳米调整平台,其特征在于,所述X轴直线电机传动机构包括固定在所述中间板上的X轴直线电机动子、和固定在所述上板的X轴磁铁,所述X轴磁铁位于所述X轴直线电机动子的正上方。
3.根据权利要求2所述的XY轴纳米调整平台,其特征在于,所述X轴直线电机传动机构还包括固定在所述中间板上的X轴连接块、和固定在所述上板的X轴光栅尺,所述X轴连接块上设有X轴编码器,所述X轴光栅尺位于所述X轴编码器的正上方;还包括固定在所述中间板上的X轴感应开关和X轴限位座。
4.根据权利要求3所述的XY轴纳米调整平台,其特征在于,所述Y轴直线电机传动机构包括固定...
【专利技术属性】
技术研发人员:金立国,
申请(专利权)人:东莞怡合达自动化股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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