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一种晶圆腐蚀用具，属于晶体材料缺陷表征技术领域，该晶圆腐蚀用具，放置在盛放有腐蚀剂的容器内，容器放置在加热炉体内，腐蚀用具包括镍坩埚和定位部件，镍坩埚的上部设置有容纳晶圆的开口槽，开口槽上端的外周方向连接定位部件，定位部件压紧定位在晶圆的外...
该专利属于芜湖启迪半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芜湖启迪半导体有限公司授权不得商用。

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