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一种微机电探针电路薄膜，具有不会弯曲或变形的特性，和具有高度的平坦度，且将探针、电子电路、电路衔接点与介电层一起整合制成具可挠性且呈一体式结构的多层薄膜结构，其结构特征包括：以可挠性的介电层构成多层薄膜结构，使得电子电路布置在介电层的内部，...
该专利属于董玟昌所有，仅供学习研究参考，未经过董玟昌授权不得商用。

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