下载单晶生长加热装置的技术资料

文档序号:26452520

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本实用新型涉及一种单晶生长加热装置,包括:容器,容器包括第一区和位于第一区下方的第二区;加热部件,位于容器外侧,加热部件包括彼此温度能独立控制的第一加热单元和第二加热单元,第一加热单元位于第一区外围,第二加热单元位于第二区外围,第一加热单元...
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