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本实用新型公开了一种双层真空脱羟退火装置，包括顶部敞口的炉体和密封连接在炉体敞口端的炉盖；炉体包括耐高温石英玻璃材质内层炉壁和金属材质的外层炉壁；内层炉壁的内腔为真空脱羟腔，外层炉壁与内层炉壁之间设置压力平衡腔；脱羟退火腔与压力平衡腔之间密...
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