双层真空脱羟退火装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种双层真空脱羟退火装置，包括顶部敞口的炉体和密封连接在炉体敞口端的炉盖；炉体包括耐高温石英玻璃材质内层炉壁和金属材质的外层炉壁；内层炉壁的内腔为真空脱羟腔，外层炉壁与内层炉壁之间设置压力平衡腔；脱羟退火腔与压力平衡腔之间密封隔离；炉盖上设有连通脱羟退火腔的进气口和第一抽气口；外层炉壁上设有连通压力平衡腔的第二抽气口；内层炉壁的外表面上设有高温加热装置。本实用新型专利技术采用耐高温石英玻璃材质的炉体，并将结构设置成双层真空结构，不仅解决现有退火炉存在的气泡脱除不干净问题，脱除残存的微量水(或‑OH)，使光纤的衰减性能得以改善，而且能确保脱羟炉体不会因压力过大变形，确保安全。

【技术实现步骤摘要】
双层真空脱羟退火装置
本技术涉及一种双层真空脱羟退火装置。
技术介绍
近年来，随着4G建设、FTTx、宽带中国等一系列基础设施建设的推进，特别是2019年6月6日工信部向中国电信、中国联通、中国移动、中国广电发放了5G牌照，标志着中国进入5G商用元年，光通信行业日益受到人们的关注，进一步催生了对芯片、光器件等的需求。作为光通信的重要载体，光纤也受到各级政府和企业的重视，为拓展企业的产业链，众多光缆生产企业逐步向上游光纤及预制棒进行拓展。随着更多企业具备光纤和预制棒的生产能力，市场进展也日趋激烈，如何降低生产成本从而在市场中占有领先的地位成为行业的研究热点。目前常规的方法大都采用氢氧焰作为反应的热源，因此在芯棒的制造过程中，芯棒中水(或-OH)的去除是一个重要的环节。主流的脱水烧结方法都是利用氯气的吸水性将疏松体中的水分子带出，再利用He的高扩散性和高导热性将VAD疏松体中残留的Cl2置换出来，同时确保脱水及烧结炉中温场的均匀分布，从而实现芯棒的均匀烧结。芯棒或者光纤预制棒脱水烧结完成后，内部仍然会残存一定的微小气孔(或真本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双层真空脱羟退火装置，其特征在于：包括顶部敞口的炉体(1)和密封连接在炉体(1)敞口端的炉盖(2)；/n所述炉体(1)包括耐高温石英玻璃材质内层炉壁(3)和金属材质的外层炉壁(4)；/n所述内层炉壁(3)的内腔为脱羟腔，外层炉壁(4)与内层炉壁(3)之间设置压力平衡腔；所述脱羟腔与压力平衡腔之间密封隔离；/n所述炉盖(2)上设有连通脱羟腔的进气口(2-1)和第一抽气口(2-2)；所述外层炉壁(4)上设有连通压力平衡腔的第二抽气口(4-1)；/n所述内层炉壁(3)的外表面上设有高温加热装置(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种双层真空脱羟退火装置，其特征在于：包括顶部敞口的炉体(1)和密封连接在炉体(1)敞口端的炉盖(2)；
所述炉体(1)包括耐高温石英玻璃材质内层炉壁(3)和金属材质的外层炉壁(4)；
所述内层炉壁(3)的内腔为脱羟腔，外层炉壁(4)与内层炉壁(3)之间设置压力平衡腔；所述脱羟腔与压力平衡腔之间密封隔离；
所述炉盖(2)上设有连通脱羟腔的进气口(2-1)和第一抽气口(2-2)；所述外层炉壁(4)上设有连通压力平衡腔的第二抽气口(4-1)；
所述内层炉壁(3)的外表面上设有高温加热装置(5)。


2.根据权利要求1所述的双层真空脱羟退火装置，其特征在于：所述炉盖...

【专利技术属性】
技术研发人员：李鑫鑫，向德成，
申请(专利权)人：远东通讯有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32