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本实用新型公开了一种具有工件摆动装置的化学机械抛光设备，包括：工作台、转盘、砝码组、限位环和摆动组件，工作台中部开设有容纳转盘的避位开口，转盘转动设置在避位开口内，转盘上设置有抛光垫，限位环设置在抛光垫上，砝码组设置在限位环内，砝码组用于压...
该专利属于昂士特科技(深圳)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昂士特科技(深圳)有限公司授权不得商用。

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