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本实用新型公开了一种超低功耗半导体功率器件，其制程反应腔的输入端连接有防过载控制线路，防过载控制线路包括热交换机和与热交换机的输出端口通过电线连接的配电箱，配电箱的输出端口并联有多个配电盒，配电盒的输出端串联有与连通制程反应腔的循环泵；循环...
该专利属于上海高芯机电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海高芯机电有限公司授权不得商用。

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