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本实用新型涉及晶圆清洗设备技术领域，具体是一种改进型晶圆清洗装置，包括支撑台、支撑弹性元件、底板、锁紧螺栓、阻尼件、可调式支撑板、清洗箱和超声波振荡器；所述可调式支撑板之间设置有若干减震片，减震片通过卡箍固定，减震片的顶端焊接固定在可调式支...
该专利属于苏州昂科微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州昂科微电子技术有限公司授权不得商用。

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