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本实用新型公开了一种单晶圆多层清洗回收设备，包括柱形清洗回收腔，所述清洗回收腔底部设有第一电机，第一电机的输出轴向上穿过清洗回收腔底面并与吸盘连接，吸盘上放置有单层晶圆，清洗回收腔内腔壁设有3层环形回收斜槽，回收斜槽在清洗回收腔外部与相应的...
该专利属于苏州昂科微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州昂科微电子技术有限公司授权不得商用。

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