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本实用新型公开了一种大功率多波段曝光光源，包括多波段UV‑LED光源模组、激光光源模组、合光器、整形器件组、光学积分器和曝光组件；以多波段UV‑LED环形光斑和激光光斑耦合的方式实现台面的平行光曝光，可以实现台面不同波段的大功率输出，能够显...
该专利属于河南百合特种光学研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南百合特种光学研究院有限公司授权不得商用。

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