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本实用新型提供了超声波扫描显微镜检测系统器件定位装置，包括检测平台和耦合介质槽，耦合介质槽内设置与检测平台边缘位置相应的固定点，使检测平台对应固定点放置于耦合介质槽内时，检测平台的中心点与耦合介质槽的中心点重合；检测平台上围绕中心点的位置固...
该专利属于西安西谷微电子有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安西谷微电子有限责任公司授权不得商用。

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