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本发明涉及一种能够进行晶片的缺口对准及检查晶片的正面、背面、包括斜面(bevel)和顶点(apex)的边缘区域而不损坏晶片的正面或背面的晶片的边缘区域检查装置及检查方法，所述晶片的边缘区域检查装置设置有：晶片装载和卸载部，其在支撑件上装载和...
该专利属于耐瑟思远株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过耐瑟思远株式会社授权不得商用。

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