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本发明的目的在于提供以感应加热方式进行有机材料制膜时噪声得以控制的实用的蒸镀装置等。一种将有机材料制膜于基板的蒸镀装置，具有：至少一部分是由导体构成的用于收容所述有机材料的容器，配置在所述容器周围的线圈，与所述线圈连接的功率半导体，与所述功...
该专利属于公益财团法人福冈县产业·科学技术振兴财团所有，仅供学习研究参考，未经过公益财团法人福冈县产业·科学技术振兴财团授权不得商用。

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