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本申请公开了一种体声波滤波器及其制作方法和集成芯片，所述体声波滤波器包括衬底、压电层、上电极和下电极，所述压电层设置在所述衬底上，包括单晶氮化铝薄膜和中间层，所述中间层设置在所述衬底和单晶氮化铝薄膜之间，且所述中间层为所述单晶氮化铝薄膜提供...
该专利属于深圳市汇芯通信技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市汇芯通信技术有限公司授权不得商用。

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