下载一种多像素超小电容X射线探测单元及探测器的技术资料

文档序号:26423291

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本发明公开了一种多像素超小电容X射线探测单元及探测器,多像素超小电容X射线探测单元,包括n型硅基体,其顶面设有P+阴极,底面设有n+阳极;n型硅基体的顶面设有第一二氧化硅矩形框,第一二氧化硅矩形框内设有第二二氧化硅矩形框,两者间形成第一P+...
该专利属于湖南正芯微电子探测器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南正芯微电子探测器有限公司授权不得商用。

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