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一种BCE结构TFT的制作方法及结构技术
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下载一种BCE结构TFT的制作方法及结构的技术资料
文档序号:26423039
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本发明公开了一种BCE结构TFT的制作方法及结构,在有源层上涂布负型光阻层,对负型光阻层曝光显影,保留有源层上的负型光阻层,光罩中间对应有源层中间上方位置为透明区域,光罩两侧对应源漏极位置为遮光区域;沉积源漏极金属层;涂布正型光阻层,对正型...
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