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本发明公开了一种激光退火铜层结构热处理方法，通过线性整形激光束斑的扫描铜层，所述铜层为电镀铜镀层或溅射铜种子层。本发明还公开了一种线性整合激光退火装置，包括激光器、移动平台装置、激光线性整合棱镜、操作系统。本发明的激光退火热处理方法及线性整...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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